Reisivahemik
20 mm
Resolutsioon
0,125 μm
Korratavus
＜1 μm
Sirgus
＜2 μm
Paralleelsus
＜5 μm
Pitting
10″(50 μrad）
Haigutus
Maksimaalne kiirus
5 mm/sek
Kandevõime
10 kg
Kaal
1,5 kg
